角度编码器
图一 角度编码器模块
高精度地定位检测件是进行以上检测的关键。传统系统通常采用气浮轴承的回转工作台转动检测件。优点是空载时回转轴的径向跳动精度非常高,这对于高精度定位极为关键。回转工作台带载后不能压缩也不能倾倒。带载后可能导致巨大的径向跳动误差——这是气浮轴承的最大弱点。海德汉公司的MRP角度编码器模块在此方面具有突出优点。它不仅具有气浮轴承的优点(导向精度高),也具有滚动轴承的优点(刚性大)。气浮轴承系统的典型倾倒刚性是33Nm/mrad,而角度编码器模块达到了102Nm/mrad,甚至高于1000Nm/mrad。实际应用中,这些参数性能提供了更高精度和重复精度的测量结果。
应用
图二 检测件借助工件座放置在回转工作台上
而且,轴转动时的角度偏差必须尽可能小。这需要高精度的旋转测量系统。气浮轴承回转工作台的测量系统必须独立安装,降低了系统精度。海德汉解决方案将轴承与测量系统在测量点位置组成了一个刚性连接的且结构紧凑的一体化系统。这些特性让达到了比气浮轴承更高的热稳定性,这是因为此种组合技术对受热影响很不敏感。
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